PT-10S
腔体材质：    不锈钢表面处理
供电电源： AC220V
工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率： 0-300W可调
射频频率： 40KHZ（偏移量小于0.2KHz）
频率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
真空度： 1pa-30Pa
气体路数： 双路气体输入
气体流量： 10—160ml/min(可调)
过程控制： PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间： 1-99999秒钟可调
功率大小 10%-100%可调
内腔尺寸 220 ×260×200mm   10L
外形尺寸： 650 ×550×440mm
真空泵： 2XZ-4（抽速4L/S） 
真空室温度： 小于30°C
冷却方式： 强制风冷

根据用途的不同，可选用多种构造的等离子清洗设备，并可通过选用不用种类的气体，调整装置的基本结构大致是相同的，一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56MHz的无线电波，设备的运行过程如下：
（1） 被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。
（2） 向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在10pa以内。根据清洗材质的不用，可分别选用氧气、氢气、或氮气等气体。
（3） 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
（4） 清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入气体，并使气压升至一个大气压.  

如今，等离子清洗技术已经成为微电子，LED，手机，汽车，医疗等许多行业面临的挑战问题的可行解决方案。当然，这与等离子清洗技术本身的优势密不可分。
（1）等离子清洗整个过程是环保干洗，清洗介质为气体；清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。大大提高整个工艺流水线的处理效率。（2）避免使用有害溶剂和昂贵的清洗剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性。（3）等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好。（4）在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。
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